プロセス条件管理 × キーワード: 洗浄

半導体ウェーハ洗浄工

半導体製造工程において、ウェーハ表面の汚染物質や微粒子を化学薬品や超純水、専用装置を用いて除去し、後工程の歩留まり向上を支援する。