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精錬 (2) 高純度 (2) SiHCl3 (1) ゲルマニウム (1) シリコン (1) 冶金 (1) 半導体材料 (1) 品質管理 (1) 多結晶シリコン (1) 炉温度管理 (1) 珪石 (1) 珪素 (1) 赤外線光学 (1) 還元精製 (1) 金属珪素 (1) 電気炉 (1)